Thermische MEMS-Massendurchflussmessung
So funktioniert es
Die thermische MEMS-Massendurchflussmessung nutzt mikroelektromechanische Systeme (MEMS) zur Messung des Gasflusses durch Temperaturänderungen. Sie besteht aus einem beheizten Element und Temperatursensoren auf einem winzigen Chip. Strömt Gas über das beheizte Element, kühlt es dieses ab und verändert seine Temperatur. Die MEMS-Sensoren erfassen diese Temperaturänderung, die mit dem Massendurchfluss des Gases korreliert. Diese Methode ermöglicht präzise Echtzeitmessungen in kompakten, stromsparenden Geräten.
Vorteile
Kompakte Größe: Kleiner Formfaktor, geeignet für die Integration in tragbare und miniaturisierte Geräte.
Geringer Stromverbrauch: Effiziente Energienutzung, ideal für batteriebetriebene Systeme.
Hohe Präzision: Ermöglicht genaue Messungen der Gasdurchflussraten.
Schnelle Reaktionszeit: Liefert Durchflussdaten in Echtzeit zur sofortigen Analyse.
Langlebigkeit: Die MEMS-Technologie ist robust und widerstandsfähig gegenüber Umwelteinflüssen.
Kostengünstig: Reduziert die Herstellungs- und Betriebskosten aufgrund des einfachen Designs und der einfachen Integration.
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