Gasmassendurchflussregler
Mit proprietären MEMS-Flusssensortechnologien

MFC4000-Serie (Kompakt) und MFC2000-Serie (Standard)

Die Produkte nutzen eine proprietäre mikromechanische (MEMS) thermische kalorimetrische Sensortechnologie mit Zeitbereichsdaten und Datenverarbeitungstechnologie. Ein thermisches Signal

Der Generator mit einem Paar Sensorelementen vor und nach dem Mikroheizer wird präzise hergestellt und in vordefinierten Mikrometerabständen auf einer Chipoberfläche mit hervorragender Wärmeisolierung getrennt.

Verfügbar für alle Standard-Industriegase und einen weiten Durchflussbereich von unter 1 Standardkubikzentimeter pro Minute (sccm) bis zu Hunderten von Litern pro Minute (slpm).